浙江首根自主知识产权量产型集成电路用12英寸单

 浙江在线

日前,一根长1.5米、重达270公斤的12英寸半导体级硅单晶棒经过超高温作业后在这里出炉,成为浙江省首根拥有完全自主知识产权的量产型集成电路用12英寸单晶硅棒。

单晶硅棒是支撑集成电路产业的基础功能材料,对工艺、材料和设备都有极高要求。单晶硅棒经切割、研磨、清洗、抛光以及外延等20多道工序制备而成的硅抛光片或硅外延片,就是芯片的地基硅片直径越大,对材料和技术的要求就越高,制造难度也越大。金瑞泓微电子(衢州)有限公司董事长王敏文介绍,长期以来,全球5家硅片企业占据了整个12英寸半导体级硅片市场97%以上的份额。到目前为止,我国集成电路用

相关新闻